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真空負(fù)壓吸盤(pán)

通過(guò)真空泵或發(fā)生器產(chǎn)生負(fù)壓吸附，最常見(jiàn)。

靜電吸盤(pán)

利用靜電吸附原理，適用于半導(dǎo)體晶圓等精密場(chǎng)景。

磁性吸盤(pán)

僅用于導(dǎo)磁材料（如鋼鐵），需配合真空輔助增強(qiáng)密封性。

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